一、直接参股上海微电子的上市公司

1. 张江高科（600895）
   • 该公司通过其全资子公司持有上海微电子约10.78%的股份。
   • 其投资方向聚焦于集成电路领域，致力于助力光刻机国产化取得突破。
2. 上海电气（601727）
   • 公司的母公司上海电气控股集团为上海微电子的第一大股东，持股比例约为32%。
   • 公司业务涵盖能源装备、工业装备等领域，具备突出的高端装备制造能力。
3. 东方明珠（600637）
   • 公司通过控股子公司间接参股上海微电子。
   • 公司主营业务包括传媒、文旅等，同时跨界布局集成电路产业链。

二、上海微电子核心供应商企业

1. 苏大维格（300331）
   • 该公司为上海微电子提供光刻机定位光栅部件，其技术应用于上海微电子的设备。
   • 公司在微纳光学技术方面处于领先地位，产品覆盖激光直写光刻机。
2. 茂莱光学（688502）
   • 公司为上海微电子供应光刻机匀光、投影物镜等光学器件，助力28nm光刻机的研发。
   • 公司是精密光学领域国产替代的核心企业。
3. 炬光科技（688167）
   • 公司为国产光刻机研发项目提供光刻机光场匀化器。
   • 公司产品已进入ASML供应链，具有较高的技术壁垒。
4. 晶方科技（603005）
   • 公司子公司荷兰Anteryon为国际光刻机厂商提供服务，专注于传感器封装业务。
   • 公司间接参与光刻机核心部件的制造。
5. 波长光电（301421）
   • 公司为光刻机提供平行光源系统，产品覆盖扩束镜头等核心组件。

三、其他产业链相关企业

• 福晶科技（002222）：作为全球领先的光学晶体供应商，其产品应用于光刻机激光系统。
• 腾景科技（688195）：作为光通信元器件厂商，已进入微电子供应链。
• 新莱应材（300260）：为光刻机提供超高真空及气体系统组件。

注意事项

• 上海微电子本身并未上市，相关股票主要涉及参股方或供应链企业。
• 部分企业的业务涉及光刻胶、清洗设备等配套环节，需关注其技术突破进展情况。

投资者需结合市场动态与风险提示进行投资决策。